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半導體行業(yè)薄膜沉積設備腔室清潔終點檢測解決方案

1.腔室清潔終點精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎環(huán)節(jié),負責金屬、介質及半導體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對腔室進行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點至關重要:l清潔不足:殘留沉積物會形成顆粒污染,導致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設備停機時間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗時間控制清潔終點,但最佳清潔時間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2021

    2-23

    為規(guī)范行業(yè)發(fā)展,確保消費者利益,由中國空氣凈化行業(yè)聯(lián)盟發(fā)起、中國質量檢驗協(xié)會批準的《便攜式甲醛檢測儀》(T/CAQI140—2020)團體標準于2021年2月6日實施。基于多年電化學甲醛氣體傳感技術的研發(fā)及較早產(chǎn)業(yè)化的客戶端配套經(jīng)驗,四方光電股份有限公司受邀參與了此次《便攜式甲醛檢測儀》標準的編制。標準適用于室內空氣質量測試用便攜式甲醛檢測儀,不適用于在腐蝕性和爆炸性氣體特殊環(huán)境場所。其中,針對消費者比較關注的便攜式甲醛檢測儀的檢測性能按檢測精度進行了A\B\C三個等級的劃分...

  • 2020

    11-4

    隨著智能家居的不斷深入發(fā)展,吸塵器和掃地機器人逐漸普及。目前吸塵器和掃地機器人的發(fā)展已經(jīng)從功能性向智能型轉型,由基本的清掃功能,到清掃效率、清掃質量的提升,清掃規(guī)劃類的產(chǎn)品已經(jīng)成為行業(yè)的標配,用戶體驗明顯提升。圍繞著傳感器、算法方面的提升,清掃規(guī)劃類產(chǎn)品再度引爆了掃地機器人市場,使得吸塵器和掃地機器人市場進入智能新時代。吸塵器/掃地機器人如何實現(xiàn)智能化?實現(xiàn)吸塵器/掃地機器人的智能化,關鍵在于傳感器,其內置的灰塵傳感器可以智能識別地面塵?;蚶奈廴境潭?,幫助設備自動調節(jié)風機...

  • 2020

    11-3

    隨著第三產(chǎn)業(yè)的興起,飲食服務業(yè)迅速發(fā)展,給人們的生活帶來了便利,然而油煙的直接排放也構成了對大氣環(huán)境的污染。油煙氣體組分復雜,其中所包含的顆粒物和揮發(fā)性氣態(tài)有機物是霧霾形成的重要原因之一。為了切實推動大氣環(huán)境治理工作,油煙治理勢在必行。油煙在線排放監(jiān)測是油煙治理邁出的重要一步餐飲油煙排放具有數(shù)量多、分布廣的特點,傳統(tǒng)的油煙排放監(jiān)管多為政府相關部門定期上門抽查,但這種方式存在成本高、效率低的問題,無法*且高效的解決油煙污染難題,因此餐飲油煙“久治不愈”。近年來,在各項政策的推動...

  • 2020

    10-22

    四方光電在線粒子計數(shù)器在潔凈室的創(chuàng)新應用在醫(yī)藥、電子、食品、航天、生物工程、精密加工等領域,相關生產(chǎn)作業(yè)過程中環(huán)境空氣需要滿足較高潔凈度的要求,并符合相關行業(yè)標準,例如制藥行業(yè)需要符合GMP標準??蛻粢话悴捎昧W佑嫈?shù)器來針對作業(yè)環(huán)境進行檢測,在國內相關檢測設備需要符合國家計量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器校準規(guī)范》規(guī)程的技術要求。以往客戶僅在項目驗收時采用手持式粒子計數(shù)器針對作業(yè)廠區(qū)內相關區(qū)域進行潔凈度檢測,而工程驗收合格投入使用后,則只會定期安排人工進行...

  • 2020

    9-27

    肺功能檢查的重要性慢性呼吸系統(tǒng)疾病是以慢性阻塞性肺疾病(以下簡稱慢阻肺)、哮喘等為代表的一系列疾病,是嚴重影響我國居民健康的四類重大慢性病之一,我國40歲及以上人群慢阻肺患病率達到13.6%,總患病人數(shù)超過1億,哮喘患者超過3000萬,嚴重影響群眾身體健康和生活質量,因此呼吸類疾病患者的檢查和科學管理尤為重要。肺功能檢查作為慢性氣道等呼吸疾病診斷的金標準之一,是慢性呼吸系統(tǒng)疾病防治和檢查的關鍵。2019年中國政府的《健康中國行動(2019-2030年)》中明確提出,到2022...

  • 2020

    9-4

    四方光電股份有限公司(以下簡稱四方光電)將于9月8日科創(chuàng)板首.發(fā)上會。據(jù)悉,四方光電是一家專業(yè)從事氣體傳感器、氣體分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高.新.技.術.企業(yè),根據(jù)工信部電子信息司、中國電子技術標準化研究院編寫的《智能傳感器型譜體系與發(fā)展戰(zhàn)略白.皮.書》,公司已成為國內“氣體和顆粒物傳感器型譜體系”的主要廠商和代表性企業(yè)。在環(huán)境監(jiān)測及工業(yè)過程氣體分析儀器方面,四方光電基于突出的自主創(chuàng)新及新產(chǎn)品開發(fā)能力,憑借微流紅外、熱電堆紅外、紫外差分吸收光譜氣體傳感技術及煤氣成分及熱值分...

  • 2020

    6-11

    根據(jù)“兩會”期間公布的2020年政府工作報告,今年要實現(xiàn)單位國內生產(chǎn)總值能耗和主要污染物排放量繼續(xù)下降;深化重點地區(qū)大氣污染治理攻堅;要打好藍天、碧水、凈土保衛(wèi)戰(zhàn),實現(xiàn)污染防治攻堅戰(zhàn)階段性目標。2020年是打贏藍天保衛(wèi)戰(zhàn)、“十三五”規(guī)劃的全面收官之年,我國大氣污染治理進入攻堅“深水期”,剩下的都是難啃的“硬骨頭”。作為一直以來的重點和難點,揚塵污染治理已然成為大氣污染防治目標完成與否的關鍵點之一。揚塵治理,需對癥下藥;而把脈問診,監(jiān)測為先。高性能的揚塵傳感器對實現(xiàn)揚塵全面監(jiān)測...

  • 2020

    6-10

    新法規(guī)規(guī)定,汽車尾氣排放分析儀應至少能自動測量HC、CO、CO2、NO、O2五種氣體濃度。在檢測方法上也發(fā)生了較大的變化:一是規(guī)定原來的電化學法測量NOx的原理不再適用,必須用光學法原理測量;二是柴油車增加了NOx的檢測。如何準確測量NOx?新標準的出臺直接影響著NOx的測量,光學檢測原理有非分光紅外(NDIR)、微流NDIR、非分光紫外(NDUV)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS),原理不同測量的精度和結果也不同。除了檢測原理不同外,還有兩種測量方式的區(qū)別:一種是直接測量...

  • 2020

    6-10

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發(fā)動機正常運轉時,對汽車排放的尾氣進行檢測、分析,從而判斷汽車發(fā)動機是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標準的一種儀器。作為機動車尾氣檢驗以及維修機構的核心設備,這種儀器的質量和性能直接影響到對汽車尾氣排放超標進行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計量認證證書是產(chǎn)品應用于市場的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測法規(guī)《汽油車污染物排放限值及測量方法(雙怠速及簡易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測量方法(自由加速法...

  • 2020

    3-25

    新的在用車環(huán)保法規(guī)GB18285-2018和GB3847-2018于2019年5月1日正式實施。新法規(guī)中尾氣檢測方法發(fā)生了較大的變化:一是規(guī)定原來的電化學法測量NOx的原理不再適用,必須用光學法原理測量;二是柴油車增加了NOx的檢測。受此影響,各地的機動車尾氣檢測站迎來了尾氣分析儀更新?lián)Q代的高潮。國內的氣體分析儀表制造商——四方光電(武漢)儀器有限公司,基于自身的技術優(yōu)勢迅速開發(fā)出了滿足新國標的尾氣分析儀,適用于汽油車和柴油車。針對HC、CO、CO2,沿用經(jīng)典的NDIR原理。...

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