紅外氣體傳感器

簡要描述：紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品型號：Gasboard-2060
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2025-02-06
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產(chǎn)品分類

Product classification

氣體傳感器

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紅外氣體傳感器

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2060

紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成

紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測原理	NDIR
檢測氣體	SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

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