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半導體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點檢測解決方案

1.腔室清潔終點精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負責金屬、介質(zhì)及半導體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對腔室進行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會形成顆粒污染,導致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設(shè)備停機時間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗時間控制清潔終點,但最佳清潔時間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2017

    6-2

    干式發(fā)酵是指以有機廢棄物為原料(干物質(zhì)濃度在25%以上),利用水解產(chǎn)酸菌、產(chǎn)氫產(chǎn)乙酸菌和產(chǎn)甲烷菌將其分解為CH4、CO2、H2S等氣體的發(fā)酵工藝。由于固體濃度太高難以采用連續(xù)投料或半投料的投料方式,絕大數(shù)均采用批量投料。紅外沼氣分析儀Gasboard-3200系列。一、干式厭氧發(fā)酵技術(shù)的應用范圍1.城市生活垃圾組成:食物殘渣,廢紙,玻璃、陶瓷、塑料、金屬制品等廢物,煤灰渣及糞便等。特性:組分復雜且隨季節(jié)、場合而異;食品殘渣的比例需達到60%以上,尚未實現(xiàn)分類收集,用于堆肥時需...

  • 2017

    6-2

    國內(nèi)外對焦爐煤氣的脫硫工藝分為正壓脫硫和負壓脫硫二種。某公司焦爐煤氣凈化一開始采用HPF正壓脫硫工藝,但脫硫效率低,且正壓脫硫需將煤氣冷卻,送入脫硫塔進行脫硫、脫氰,經(jīng)過脫硫后,煤氣進入硫銨單元,又需對煤氣進行預熱,煤氣經(jīng)過冷卻、預熱存在較大的能源浪費,不利于節(jié)能降耗生產(chǎn),對此該公司將正壓脫硫工藝改為負壓脫硫工藝,采用紅外氣體分析儀(防爆型)Gasboard-3500對脫硫效果進行監(jiān)測,項目運行3年來,脫硫效率提高,節(jié)能*,具有良好的經(jīng)濟效益和環(huán)保效益。一、正、負壓脫硫工藝對...

  • 2017

    5-10

    VOCs(volatileorganiccompounds)即揮發(fā)性有機物,是一類化學質(zhì)的統(tǒng)稱,在常溫壓下通具有高蒸汽。我國現(xiàn)標準中VOCs是指20℃條件下蒸汽壓大于等于0.01kPa,或在特定適用條件下具有揮發(fā)性的全部機化,或在特定適用條件下具有揮發(fā)性的全部機化合物的統(tǒng)稱。VOCs組成復雜,主要包括烷烴、烯烴、芳香烴、鹵代烴、含氧烴、氮烴、硫烴、低沸點多環(huán)芳烴等。其中常見的VOCs種類有甲苯(TolueneToluene)、二甲苯(Xylene)、對-二氯苯(Para-di...

  • 2017

    5-9

    項目概述針對焦化生產(chǎn)流程污染嚴重、影響環(huán)境保護問題,某鋼鐵公司焦化生產(chǎn)線采用目前焦化產(chǎn)業(yè)先進的干熄焦技術(shù)裝備工藝流程,以達到、節(jié)能、低耗、環(huán)保的目的。該鋼鐵干熄焦項目采用干熄焦氣體循環(huán)分析系統(tǒng)對用戶現(xiàn)場干熄爐及循環(huán)氣體系統(tǒng)中產(chǎn)生的氣體組分進行分析。系統(tǒng)由預處理單元、控制單元、分析單元三個部分構(gòu)成,采用PLC程序控制,自動完成采樣、反吹、排冷凝水等操作,實現(xiàn)24小時無人值守的情況下實時在線監(jiān)測工業(yè)過程氣體,大大減少了人工負荷,保證系統(tǒng)長期穩(wěn)定、準確、連續(xù)自動在線運行。一級除塵二...

  • 2017

    5-8

    本文簡述了天然氣能量計量的基本原理,同時介紹了兩種不同原理的天然氣熱值測定方法,并對其進行了分析比較。GB12206-90給出了我國城市燃氣熱值的定義:每標準立方米(0℃,101.3KPa)干燃氣*燃燒時產(chǎn)生的熱量。當此熱量包括煙氣中水蒸氣凝結(jié)而散發(fā)的熱量時,稱為高位熱值,反之稱為低位熱值。縱觀近年來的發(fā)展情況,我國天然氣能量計量工業(yè)歷經(jīng)多年積累,不斷取得進步,并逐漸與接軌,對整個天然氣產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出了不小的貢獻。筆者將介紹兩種天然氣熱值的測定方法:一種為使用熱量計直接燃燒測...

  • 2017

    5-4

    一、沼氣產(chǎn)量計算理論計算公式:沼氣產(chǎn)量=廢水濃度(kgCOD/m3)×設(shè)備去除率(%)×廢水日排放量(m3/d)×產(chǎn)沼氣率其中,產(chǎn)沼氣率為0.7m3/kgCOD(理論值)沼氣產(chǎn)量計算還有如下方式:1、按養(yǎng)殖規(guī)模計算,一般估算為:5頭豬、1頭牛、150只雞的糞便可產(chǎn)1m3沼氣。2、按照池容計算。如6m3、8m3、10m3沼氣池容積可分別產(chǎn)沼氣1.2m3、1.6m3、2m33、按照池中的干物質(zhì)計算,如每公斤豬糞(干物質(zhì))產(chǎn)氣量為0.43m3/kg。4、按照去除的污染物計算,如每去...

  • 2017

    5-3

    焦爐煤氣在進入靜電除塵設(shè)備之前,需要分析焦爐煤氣含氧量,因為靜電除塵設(shè)備中的焦爐煤氣含氧量達到一定程度時會引發(fā)爆炸事故,從而損壞設(shè)備和造成人身傷害,所以對焦爐煤氣中的含氧量分析及監(jiān)控極為重要。筆者將就在線煤氣分析系統(tǒng)在靜電除塵工藝中的應用進行探討。1.煤氣靜電除塵技術(shù)煤氣除塵技術(shù)在我國已經(jīng)較為成熟,其方法也多樣,本文主要探討的是煤氣靜電除塵。其工藝原理為:含有粉塵顆粒的氣體,在接有高壓直流電源的陰極線(又稱電暈極)和接地的陽極板之間所形成的高壓電場通過時,由于陰極發(fā)生電暈放電...

  • 2017

    4-12

    紅外煤氣成分分析儀主要應用于工業(yè)上對煤氣成分進行分析,通過對測量的氣體參數(shù)變化情況的分析,掌握這些成分的變化規(guī)律,從而對于實現(xiàn)生產(chǎn)全程動態(tài)控制,無論是理論計算還是現(xiàn)場操作,都具有十分重要的指導意義。該儀器適合氮肥廠、鋼鐵公司、煤氣廠等行業(yè)的分析煤氣、半水煤氣、變換氣、原料氣中CO2,CnHm,O2,CO,CH4,H2及NOx等成分的分析。目前市場上主要有實驗室分析儀和過程分析儀兩大類分析儀器,現(xiàn)就適合于煤氣成分分析的儀器簡單介紹一下。一、常用實驗室分析儀器1.奧氏氣體分析儀作...

  • 2017

    4-11

    作為一種能源和化工原料,天然氣計量的重要性不言而喻。本文探討了超聲氣體流量計Gasboard-7200在貿(mào)易計量中的應用。??超聲波流量計的工作原理Gasboard-7200系列超聲氣體流量計采用行業(yè)先進的超聲波氣體傳感技術(shù),其工作原理是通過測量超聲波脈沖順流和逆流傳播時傳播速度不同引起的時差來計算被測流體速度,該原理又稱為“時差法”。超聲波頻率高,波長短,衍射不嚴重,具有良好的定向性且穿透能力強。探頭1發(fā)射信號,信號穿過管壁1、流體、管壁2后被另一側(cè)的探頭2接收到;在探頭1...

  • 2017

    4-10

    因入爐煤氣資源豐富,且屬于可被循環(huán)利用的廢氣,故煤氣是氣燒石灰窯的燃料,如高爐煤氣、轉(zhuǎn)爐煤氣、焦爐煤氣、電石尾氣(煤氣)、發(fā)生爐煤氣等。由于氣燒石灰窯的煅燒溫度,關(guān)系到石灰質(zhì)量,煅燒溫度又與入爐煤氣的熱值直接相關(guān),同時入爐煤氣熱值高、火焰短等因素易造成石灰窯的過燒或生燒現(xiàn)象,所以必須對入爐煤氣的熱值進行分析,以便現(xiàn)場工作人員根據(jù)實際工況調(diào)節(jié)窯內(nèi)煅燒溫度,提高氣燒石灰窯的生產(chǎn)效率與企業(yè)經(jīng)濟效益。煤氣分析儀(在線型)Gasboard-3100煤氣中貢獻熱值的氣體有CO、CH4、C...

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